目前，我國從事半導(dǎo)體設(shè)備研究和制造的單位約60家，其中主要單位20家，一批新興的由高素質(zhì)人員組建的半導(dǎo)體設(shè)備公司陸續(xù)注冊并已投入產(chǎn)品開發(fā)工作。國產(chǎn)設(shè)備的銷售方向主要是院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線及分立器件、LED、太陽能電池、SAW、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的總體技術(shù)水平大致如下：0.5μm生產(chǎn)線主要設(shè)備的原型樣機已提供給用戶；一批8英寸設(shè)備正在研制中，有的已通過驗收；幾臺100nm水平的關(guān)鍵設(shè)備已取得不同程度的進展，有的已完成β樣機的研制，并已在用戶的生產(chǎn)線上安裝，目前正處于驗收階段；幾種12英寸關(guān)鍵設(shè)備的α樣機研制也已取得重要進展。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備起步比較早，上世紀五六十年代，國家已經(jīng)開始著手研制，改革開放后，吸收了一些國際先進技術(shù)，逐步擁有了自主知識產(chǎn)權(quán)，在國內(nèi)半導(dǎo)體市場上，國內(nèi)廠商還是有一定實力的，而且在中低檔市場上擁有一定的用戶群。

目前，在國內(nèi)有多家供應(yīng)商，可提供前、后道多種工藝設(shè)備，在6英寸以下分立器件、集成電路生產(chǎn)線上使用，技術(shù)水平可滿足工藝要求，如氧化/擴散設(shè)備、清洗設(shè)備等。
有些廠家引進了6英寸-8英寸集成電路生產(chǎn)線的二手設(shè)備，其中也出現(xiàn)了一些問題，現(xiàn)在有部分廠家生產(chǎn)線的關(guān)鍵工藝設(shè)備開始使用國產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備起到了較好的填平補齊的作用。此外，信息產(chǎn)業(yè)部也予以大力支持，設(shè)備的實用化又有了新的發(fā)展，清洗、擴散/氧化/CVD設(shè)備也得到了很快發(fā)展。

雖然很多高檔的半導(dǎo)體設(shè)備仍然依賴進口，沒有進入大生產(chǎn)線，但是目前，七星華創(chuàng)、中電科技集團公司第45研究所等多家單位都在努力，希望在中高檔設(shè)備上有所突破。

總的來說，經(jīng)過了“十五”的磨煉，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)基礎(chǔ)逐步扎實，思路漸漸清晰，實力不斷增強，水平悄然提高，部分(產(chǎn)品)有所突破，整體尚需努力，環(huán)境空前寬松，壓力始終存在，機遇前所未有，差距依然巨大。

過去的五年，是我國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展最為迅猛的時期，盡管與我國快速發(fā)展的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)相比，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展相對緩慢，但與前幾個五年計劃時期相比卻是獲得最實質(zhì)性進步的五年。其特點表現(xiàn)在：從業(yè)企業(yè)尤其是骨干企業(yè)經(jīng)過多年的累計投入，制約發(fā)展的設(shè)計及加工條件和能力都不同程度地得到改善，與國際先進半導(dǎo)體設(shè)備制造商在硬件條件上的差距逐步縮小；發(fā)展理念從

以前的什么設(shè)備都做、眉毛胡子一把抓卻什么都做不好到更專注于自己擅長的設(shè)備，持續(xù)不斷地研發(fā)完善提高；從單純追求設(shè)備性能指標的實現(xiàn)、追求設(shè)備的國產(chǎn)化率、追求是否能夠獲獎是否能夠填補空白到追求設(shè)備的實用性及可靠性以及追求是否能夠滿足市場需求、滿足客戶的實際工藝需要而獲得真正應(yīng)用。

我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的高速成長，國家對裝備行業(yè)的空前重視，與國外日趨方便的交流方式和日益多樣的合作渠道，為我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展提供了前所未有的機遇。但國際著名廠商的本土化進入和目前國內(nèi)廠家寥寥數(shù)個百分點的市場占有率、每年不足5億元人民幣的市場規(guī)模，則預(yù)示著新一輪殘酷競爭的開始和并未減輕的生存壓力，機遇與挑戰(zhàn)并存！

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前已具備了6英寸芯片及以下生產(chǎn)線的整機生產(chǎn)能力，大多還是應(yīng)于國內(nèi)實驗線，部分產(chǎn)品具備8英寸研發(fā)水平。與國際先進水平相比，整體技術(shù)水平的差距依然是巨大的。如還沒有一種設(shè)備能真正進入國內(nèi)主流的8英寸乃至6英寸芯片生產(chǎn)線，設(shè)備廠家由于沒有自己的工藝實驗線而必須被動地依賴用戶的“短板”問題仍然沒能得到有效改善等，這些都需要在未來的發(fā)展中加以解決。

應(yīng)該看到，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正在逐漸成熟。然而，相對于集成電路制造業(yè)，我國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展還緩慢得多，其生產(chǎn)規(guī)模、研發(fā)水平、投資強度等方面要差得多。新建的集成電路生產(chǎn)線以8英寸為主，其生產(chǎn)設(shè)備仍然是國外設(shè)備居多。此外，大量價格低廉的國外二手設(shè)備涌入我國，也給國產(chǎn)設(shè)備造成了極大的市場壓力，它們搶奪了大部分的市場份額，同時也極大地縮小了國產(chǎn)設(shè)備的利潤空間。

從產(chǎn)業(yè)政策方面講，國家對設(shè)備制造業(yè)的支持力度也不夠大，研發(fā)投入少得可憐。而且，國內(nèi)設(shè)備制造業(yè)與工藝生產(chǎn)相脫節(jié)，缺乏工藝方面的支撐，其研發(fā)周期相對較長。更為重要的是，長期以來，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)落后的事實，使得國內(nèi)的絕大部分客戶對國產(chǎn)設(shè)備心存疑慮，信心不足，這使得國產(chǎn)設(shè)備進入生產(chǎn)線一試身手的機會很小，因此難以獲得改進提高的機會，國產(chǎn)設(shè)備的工藝適應(yīng)性不高，如此陷
入惡性循環(huán)，使國產(chǎn)設(shè)備進退兩難。

國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)正處于萌芽階段，但也發(fā)展得相當(dāng)快。目前的發(fā)展主要著重于零件、組件和國內(nèi)客戶生產(chǎn)所需的系統(tǒng)制造這兩個方面。

目前，我國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)有一種向上突破的勢態(tài)，如上海、沈陽等地都宣稱要成為半導(dǎo)體設(shè)備的基地，并有相應(yīng)大的動作，如上海中微正在搞世界一流的半導(dǎo)體工藝設(shè)備CVD及腐蝕，并已生產(chǎn)出樣機提供給客戶使用；沈陽正在與應(yīng)用材料公司合作加工生產(chǎn)大型部件，并一次獲得質(zhì)量通過。
國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前的優(yōu)勢是什么？突破點在哪里？

從技術(shù)角度看，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備尚無優(yōu)勢可言，目前仍處于追趕階段。從長遠觀點來看，發(fā)展國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的優(yōu)勢一是在于國家非常重視包括半導(dǎo)體設(shè)備在內(nèi)的裝備制造業(yè)，“十一五”期間將成為我國制造業(yè)的發(fā)展重點，這為我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展營造了很好的宏觀氛圍，必將有利于我國半導(dǎo)體設(shè)備的快速發(fā)展。二是在于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備最接近目前成長力最強的中國市場，接近市場既有利于設(shè)備的開 發(fā)和與工藝單位的密切配合，也有利于售后的維修服務(wù)和長遠的零部件供應(yīng)。三是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備具有較大的價格優(yōu)勢，一般價格在進口設(shè)備的1/2或以下。

因此，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備只要在技術(shù)上和服務(wù)上能夠滿足用戶需要，我認為是會被國內(nèi)集成電路生產(chǎn)廠家所接受的，問題在于我們能否下決心去做和怎樣去做。因此，我們鼓勵國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備單位抓住這一難得的市場機遇加快發(fā)展我國的半導(dǎo)體設(shè)備，同時我們也非常歡迎國外的半導(dǎo)體設(shè)備廠商到中國來發(fā)展。

國產(chǎn)半導(dǎo)體的優(yōu)勢在于：
1.價格相對便宜，在性能相同的情況下，采購商會考慮價格因素。
2.零配件提供方便，國內(nèi)設(shè)備在長期使用過程中備品備件有保證。
3.服務(wù)便利，在國內(nèi)購買設(shè)備后，出現(xiàn)故障后維修服務(wù)及時，能夠很快速地解決問題，國內(nèi)廠商也越來越注重加強自身服務(wù)意識。
4.在中、低檔市場上有穩(wěn)定的客戶群，經(jīng)過了四五十年的發(fā)展，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中低檔市場上已經(jīng)擁有了一些穩(wěn)定的客戶。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要有所突破，首先要根據(jù)客戶需要研發(fā)新產(chǎn)品，在固有技術(shù)上不斷提高，要進一步進行自主知識產(chǎn)權(quán)的開發(fā)，隨著客戶需求的不斷提高，在適應(yīng)過程中不斷完善，并且真正形成具有我國特點的自主品牌。其次還要尋找常規(guī)生產(chǎn)用工藝設(shè)備，充分利用合資、技術(shù)合作、技術(shù)轉(zhuǎn)讓等手段，加大研制力度，爭取短期內(nèi)進入中高端集成電路生產(chǎn)線。

價格是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備與國外產(chǎn)品競爭的唯一優(yōu)勢。高端設(shè)備由于缺乏競爭力而沒有可比性，在具備生產(chǎn)能力的中低端產(chǎn)品上，價格往往成為國產(chǎn)設(shè)備競爭的殺手锏。嚴格來講，應(yīng)該是性能價格比。在基本同等的技術(shù)水平下，國產(chǎn)設(shè)備價格一般只有進口設(shè)備的1/10-1/3，這對要求投資回報率高資金回收快的用戶無疑具有巨大的誘惑力。只要有成功應(yīng)用的先例，就能吸引成批的買主。當(dāng)然，使用成本低、備品備件便宜、維護保養(yǎng)方便快捷、中文操作界面等也是國產(chǎn)設(shè)備不可忽略的優(yōu)勢，尤其在價格同樣也是客戶對外競爭主要手段的行業(yè)，低價格意味著低的產(chǎn)品分攤成本，意味著競爭力的提高，我國太陽能電池制造行業(yè)大量采用國產(chǎn)設(shè)備就是一個最好的例子。另外，相對而言，國內(nèi)廠家對國內(nèi)市場和客戶的了解程度更深，與用戶的溝通更通暢，更易達成一致。

國產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)勢在于：產(chǎn)品優(yōu)勢，國產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)對國內(nèi)下游企業(yè)的實際情況更為了解，可為其提供更為適宜的量身定做的設(shè)備，如適宜操作的人機界面、簡捷高效的功能等，可使顧客充分利用資源；價格優(yōu)勢，國內(nèi)設(shè)計、生產(chǎn)、供應(yīng)、運輸、服務(wù)等環(huán)節(jié)成本較低，與國外企業(yè)相比有絕對的價格優(yōu)勢；地域優(yōu)勢，本土企業(yè)可以提供更快捷的服務(wù)，更直接的面對面交流和人員溝通，低價格的上門服務(wù)和操作培訓(xùn)，價優(yōu)、量足、易得的備品備件，可以為顧客節(jié)約大量的運行成本，方便的物流系統(tǒng)可以提供點對點的貨物運送，省去諸如報關(guān)、港口提貨等繁雜的進口手續(xù)；人員優(yōu)勢，專用設(shè)備一般都采用面對面的人員推銷方式進行銷售，國內(nèi)銷售人員對行業(yè)發(fā)展情況比較了解，可以為顧客提供投資建議、采購咨詢、產(chǎn)業(yè)鏈溝通等幫助，更有利于新用戶的開發(fā)；民族情感，一種強烈的民族氣節(jié)，振興國家基礎(chǔ)工業(yè)的民族感情驅(qū)使人們支持國產(chǎn)設(shè)備。

國產(chǎn)設(shè)備的突破點：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢和價格優(yōu)勢，加緊縮小與國外設(shè)備的技術(shù)差距，加強服務(wù)意識，樹立顧客為本，以顧客需求為導(dǎo)向的經(jīng)營理念，為國內(nèi)顧客提供量身定做的產(chǎn)品，以產(chǎn)品差異化切入市場，建立起快速反應(yīng)的服務(wù)機制，給國內(nèi)用戶以足夠的信心。

我們非常高興看到國內(nèi)這樣的成長速度，因為這對整個市場來說會起著一種刺激性和支持性的作用。一旦有了競爭，全球的制造者更會努力進行研發(fā)以求進步。目前的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商把重心放在0.2微米以上的技術(shù)，所以應(yīng)該把握國家的各方面支持、對本地市場的認識以及擁有眾多工程精英等優(yōu)勢來開拓國內(nèi)的無限商機。在我們看來，這就是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的最大優(yōu)勢。

國內(nèi)設(shè)備商和外國商家合作的機會也會隨著國內(nèi)市場的蓬勃而日漸增長。這些合作方式將有利于國內(nèi)廠商在制造過程增添更豐富的知識和經(jīng)驗，并幫助中國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)開拓國外市場。

國產(chǎn)設(shè)備如何立足半導(dǎo)體市場（二）